XU-100是一款高性價(jià)比型鍍層測(cè)厚儀/膜厚測(cè)試儀/光譜測(cè)厚儀,采用下照式C型腔體設(shè)計(jì),搭配微聚焦X射線發(fā)生器和高集成垂直光路系統(tǒng),以及高敏變焦測(cè)距裝置,對(duì)各種大小異形件都可快速、精準(zhǔn)、無(wú)損測(cè)量。?檢測(cè)各種金屬鍍層,檢出限可達(dá)0.005μm,最小測(cè)量面積0.2mm²,凹槽深度測(cè)量范圍可達(dá)0-30mm,是一款測(cè)量鍍層厚度性價(jià)比高、適用性強(qiáng)的機(jī)型。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.下照式設(shè)計(jì)?
可以快速方便地定位對(duì)焦樣品。?
2.高精密微型移動(dòng)滑軌
快速精準(zhǔn)定位樣品。
3.?微焦X射線裝置
最小檢測(cè)面積可達(dá)0.2mm²的樣品,可進(jìn)行各類(lèi)電鍍層膜厚檢測(cè)。?
高效率正比接收器即使測(cè)試0.2mm²的樣品,幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。
4.?變焦裝置算法
可對(duì)各種異形凹槽進(jìn)行檢測(cè),凹槽深度測(cè)量范圍可達(dá)0-30mm。?
5.先進(jìn)的EFP算法
多層多元素,包括有同種元素在不同涂鍍層的檢測(cè),都可以快、準(zhǔn)、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析。?
規(guī)格參數(shù)
電源 | 220VAC |
功率 | 95W(不含計(jì)算機(jī)) |
儀器重量 | 48KG |
儀器尺寸 | 550*360*410mm |
樣品艙尺寸 | 435*330*140mm |
樣品臺(tái)移動(dòng) | 高精密 XY 手動(dòng)滑軌 |
可移動(dòng)范圍 | 50mm*50mm |
放大倍數(shù) | 光學(xué) 38-46X,數(shù)字放大 40-200X |
對(duì)焦方式 | 高敏感鏡頭,手動(dòng)對(duì)焦 |
樣品觀測(cè) | 1/2.7 ”彩色 CCD,變焦功能 |
測(cè)量元素范圍 | Cl(17)~U(92) |
涂鍍層分析范圍 | Li(3)~U(92) |